基本信息
| 标准名称： | 半导体器件用钨舟 |
| 英文名称： | Tungsten boat for semiconductor devices |
| 中标分类： | 综合 >> 标准化管理与一般规定 >> 技术管理 |
| 发布部门： | 中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： | 1994-08-08 |
| 实施日期： | 1994-12-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 2010-01-20 |
| 提出单位： | 电子工业部标准化研究所 |
| 归口单位： | 电子工业部标准化研究所 |
| 起草单位： | 七四五厂、电子工业部标准化所 |
| 起草人： | 候伍满、韩艳芬、茹士臻 |
| 出版日期： | 1994-12-01 |
| 页数： | 5页 |
适用范围
本标准规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于耐高温、高纯度、高密度的钨板(片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟皿。
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所属分类： 综合 标准化管理与一般规定 技术管理